Nón chùm tia ion

Nón chùm tia ion SIKAIDA là thành phần cốt lõi của hệ thống truyền và cấy chùm tia ion. Được làm từ vật liệu gốm tiên tiến có độ tinh khiết cao và được xử lý thông qua quá trình ép phun chính xác và thiêu kết ở nhiệt độ cao, chúng có hàm lượng tạp chất cực thấp, khả năng chịu nhiệt độ cao và độ chính xác kích thước ổn định. Chúng có thể được gia công thành các dạng hình học phức tạp để đáp ứng yêu cầu về dung sai cực cao, khiến chúng phù hợp với các quy trình cấy ion bán dẫn hiệu suất cao.

Là nhà sản xuất chuyên nghiệp tại Trung Quốc, SIKAIDA cung cấp các nón chùm ion đáng tin cậy, tiết kiệm chi phí và có thể tùy chỉnh cho khách hàng trên toàn thế giới trong lĩnh vực bán dẫn, màn hình phẳng, quang học, hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) và lĩnh vực năng lượng mặt trời. SIKAIDA là nhà cung cấp lâu dài và nhà máy sản xuất chuyên dụng đáng tin cậy cho các bộ phận xử lý chùm tia ion cao cấp.

Vật liệu và sản xuất

1. Vật liệu

Ion Beam Cones sử dụng các vật liệu bao gồm alumina (Al₂O₃) với độ tinh khiết ≥99,9%, silicon nitride (Si₃N₄) với độ tinh khiết ≥99,5%, oxit zirconium (ZrO₂) với độ tinh khiết ≥99,8% và silica nung chảy (99,999%). Tất cả các vật liệu đều đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ tinh khiết của ngành bán dẫn và phù hợp với yêu cầu hiệu suất của các ứng dụng khác nhau.

2. Quy trình sản xuất

Quy trình sản xuất bao gồm ép phun chính xác, thiêu kết ở nhiệt độ cao, gia công chính xác CNC, đánh bóng ngang gương cũng như làm sạch và kiểm tra tự động. Mỗi quy trình đều được kiểm soát chặt chẽ về độ chính xác và chất lượng để đảm bảo sản phẩm cuối cùng đáp ứng các tiêu chuẩn ngành và yêu cầu của khách hàng.

Thông số sản phẩm chính

1. Độ chính xác về kích thước

Nón chùm tia ion có dung sai được kiểm soát trong phạm vi ±0,05mm, độ nhám bề mặt Ra<0,4μm, độ chính xác côn lỗ bên trong ±0,02mm, độ đồng trục <0,03mm và độ vuông góc <0,02mm. Độ chính xác chiều cực cao này đảm bảo hiệu quả độ chính xác của việc truyền chùm tia ion.

2. Xử lý bề mặt

Xử lý bề mặt bao gồm đánh bóng cơ học để tạo lớp tráng gương, lớp phủ xử lý bằng tia cực tím để tăng cường tính chất bề mặt, lớp phủ chống trầy xước để cải thiện khả năng chống mài mòn, tẩy axit và thụ động để loại bỏ tạp chất và cải thiện độ ổn định. Phương pháp xử lý phù hợp có thể được lựa chọn dựa trên yêu cầu ứng dụng.

3. Các chỉ số hiệu suất

Nón chùm tia ion hoạt động trong phạm vi nhiệt độ từ -196oC đến +800oC, đảm bảo hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ khắc nghiệt. Chúng có điện trở suất thể tích ≥10¹⁴Ω·cm và điện trở suất bề mặt ≥10¹²Ω, thể hiện đặc tính cách nhiệt tuyệt vời. Chúng cũng có khả năng chống ăn mòn plasma và hóa học vượt trội, cho phép chúng thích ứng với môi trường quy trình phức tạp.

Ưu điểm cốt lõi

1. Độ tinh khiết cực cao: Độ tinh khiết của nguyên liệu thô vượt quá 99,9%, giảm thiểu ô nhiễm các tấm bán dẫn, đảm bảo hiệu suất điện ổn định của thiết bị và đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của sản xuất chất bán dẫn.

2. Độ chính xác hình học cực cao: Đảm bảo kích thước sản phẩm nhất quán trong quá trình sản xuất hàng loạt, với sai số côn được kiểm soát trong phạm vi ±0,05mm và sai số độ tròn ≤0,02mm, phù hợp chính xác với yêu cầu lắp đặt và sử dụng của hệ thống truyền chùm tia ion.

3. Chất lượng bề mặt giống như gương: Độ nhám bề mặt Ra<0,4μm, giảm hiệu quả sự tán xạ của chùm ion, cải thiện tính đồng nhất của việc truyền chùm ion và tối ưu hóa hơn nữa độ chính xác cấy ghép của thiết bị bán dẫn.

4. Độ ổn định trong phạm vi nhiệt độ rộng: Hoạt động ổn định trong môi trường đông lạnh sâu đến nhiệt độ cao. Vật liệu này có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, duy trì độ ổn định kích thước tuyệt vời ngay cả khi nhiệt độ thay đổi, ngăn ngừa tác động đến hiệu suất do biến động nhiệt độ.

5. Cách nhiệt và chống ăn mòn tuyệt vời: Ngăn chặn hiệu quả sự tích tụ điện tích trong quá trình truyền chùm ion và chịu được axit mạnh, kiềm mạnh và các loại ăn mòn plasma khác nhau, đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường quy trình phức tạp.

Dịch vụ tùy chỉnh

Mẫu mã và kích thước sản phẩm có thể được tùy chỉnh theo các yêu cầu quy trình khác nhau. Các định dạng bản vẽ được hỗ trợ bao gồm STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF và các mẫu vật lý. Về thời gian giao hàng, giao hàng mẫu là 4-7 tuần và giao sản phẩm theo lô là 8-12 tuần. Hệ thống chất lượng của chúng tôi tuân thủ các tiêu chuẩn ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH và SEMI, đảm bảo toàn diện chất lượng sản phẩm và hiệu quả giao hàng.

Lĩnh vực ứng dụng

Nón chùm tia ion được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực, bao gồm máy cấy ion trong sản xuất chất bán dẫn, thiết bị xử lý trong màn hình phẳng, hệ thống lắng đọng chùm tia ion (IBD) và khắc chùm tia ion (IBE) trong sản xuất thiết bị quang học, sản xuất hệ thống vi cơ điện tử (MEMS), thiết bị pha tạp ion cho pin mặt trời và quy trình cấy ion cho các thiết bị bán dẫn điện như bóng bán dẫn lưỡng cực cổng cách điện (IGBT) và MOSFET điện.

Câu hỏi thường gặp:

Câu hỏi 1: Vật liệu nào thường được sử dụng trong Nón chùm tia ion?

Trả lời 1: Chúng tôi chủ yếu sử dụng các vật liệu gốm tiên tiến như alumina có độ tinh khiết cao (Al₂O₃), silicon nitride (Si₃N₄) và oxit zirconium (ZrO₂). Những vật liệu này có độ tinh khiết cực cao, khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời và tính chất điện ổn định.

Câu hỏi 2: UET có thể cung cấp các thông số kỹ thuật và xử lý bề mặt tùy chỉnh không? 

Đ2: Có. UET có thể tùy chỉnh kích thước, độ côn, loại vật liệu và xử lý bề mặt của hình nón theo yêu cầu quy trình của bạn. Chúng tôi có nhiều kinh nghiệm sản xuất và có thể đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cụ thể của khách hàng.

Câu 3: Độ chính xác và chất lượng của Ion Beam Cones được đảm bảo như thế nào?

Trả lời 3: Chúng tôi áp dụng hệ thống quản lý chất lượng ISO9001:2015 và được trang bị thiết bị kiểm tra có độ chính xác cao, bao gồm máy đo tọa độ, máy đo độ nhám bề mặt và máy quang phổ huỳnh quang tia X, để đảm bảo rằng mọi lô sản phẩm đều đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt của ngành.

Q4: Chu kỳ giao hàng là gì?

A4: Chu kỳ giao hàng mẫu là 4-7 tuần và chu kỳ giao sản phẩm theo lô là 8-12 tuần. Chu kỳ cụ thể phụ thuộc vào độ phức tạp của sản phẩm và số lượng đặt hàng.